CPX-VF低溫超導(dǎo)磁體探針臺(tái)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

Lake Shore的CPX-VF探針臺(tái)增加了±2.5T的超導(dǎo)磁體，可以進(jìn)行C-V、I-V、微波和電光探測(cè)，以及平面外垂直場(chǎng)超導(dǎo)磁測(cè)量。研究人員可以使用CPX-VF進(jìn)行霍爾效應(yīng)測(cè)量和測(cè)試磁輸運(yùn)參數(shù)。CPX-VF 是Lake Shore探針臺(tái)中結(jié)合微波和磁場(chǎng)測(cè)量的優(yōu)秀探針臺(tái)之一。

產(chǎn)品型號(hào)：

更新時(shí)間：2024-04-18

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

訪問(wèn)量：668

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

低溫物理設(shè)備

傳感器探針臺(tái) 超導(dǎo)磁體、電源、液面計(jì)等低溫成像設(shè)備制冷機(jī)設(shè)備位移臺(tái)系列設(shè)備低溫恒溫器磁電測(cè)量設(shè)備

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Lake Shore低溫探針臺(tái)選型指南！從先進(jìn)技術(shù)到全新應(yīng)用解析

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CPX-VF在直徑達(dá)51mm（2英寸）的晶圓上實(shí)現(xiàn)真正的90°晶圓探測(cè)。樣品可在冷卻過(guò)程中保持較高溫度，降低了樣品冷凝的可能性，這是測(cè)量有機(jī)材料的關(guān)鍵要求。

CPX-VF使用液氦或液氮進(jìn)行連續(xù)流制冷（使用超導(dǎo)磁體時(shí)必須使用液氦），其操作溫度范圍為4.2 K到400 K，使用低溫選件可將基礎(chǔ)低溫?cái)U(kuò)展到2 K。

主要特征：

√ 溫度范圍4.3 K~400 K

√ 可選低溫1.9 K

√ 垂直磁場(chǎng)±2.5 T

√ 最大2英寸（51 mm）樣品

√ 樣品可面內(nèi)±5°旋轉(zhuǎn)

√ 樣品振動(dòng)＜30 nm可選

√ 90°探針樣品測(cè)量

√ 霍爾效應(yīng)測(cè)試選件

√ 超高真空選件

√ 可定制真空腔聯(lián)用轉(zhuǎn)移樣品，避免樣品暴露在大氣環(huán)境

設(shè)備參數(shù)：

磁場(chǎng)
磁體類型	超導(dǎo)螺線管
磁場(chǎng)方向	垂直方向（垂直于樣品面）
磁場(chǎng)控制	電流控制
磁場(chǎng)大小	最大±25 KOe(±2.5 T)
磁場(chǎng)均勻性	0.5% 10 mm直徑；1% 25 mm直徑
探針針尖移動(dòng)	<5μm 整個(gè)磁場(chǎng)范圍內(nèi)
溫度范圍
最多配置6個(gè)探針臂	基礎(chǔ)溫度4.3 K，溫度控制范圍4.4 K ~ 400 K
安裝PS-LT低溫選件	基礎(chǔ)溫度1.9 K，溫度控制范圍2 K ~ 400 K
溫度穩(wěn)定性	液氦
基礎(chǔ)溫度 (無(wú)加熱控制)	±15 mK
<10 K	±50 mK
10 K ~ 100 K	±20 mK
101 K ~ 250 K	±15 mK
251 K ~ 350 K	±15 mK
351 K ~ 400 K	±50 mK
真空	以TPS-FRG分子泵為標(biāo)準(zhǔn)	PS-HV-CPX選件
抽真空時(shí)間	30 min (<1 × 10^-3 Torr)	10 min (<1 × 10^-3 Torr)
室溫	<5 × 10^-4 Torr	<5 × 10^-6Torr
基礎(chǔ)溫度	<1 × 10^-5 Torr	<5 × 10^-7 Torr
最高溫度	<5 × 10^-5 Torr	<5 × 10^-7 Torr
循環(huán)時(shí)間
總循環(huán)	4 h
抽真空	0.5 h
探針臺(tái)冷卻	2 h
探針臺(tái)升溫	1.5 h
樣品
最大尺寸	51 mm(2英寸)
樣品背光接口	不可選
樣品旋轉(zhuǎn)	±5°樣品面內(nèi)旋轉(zhuǎn)
樣品振動(dòng)	＜300 nm（標(biāo)準(zhǔn)），＜30 nm（配置減震選件PS-PVIS）
探針配置
最大探針數(shù)	6
探針臂溫度計(jì)	用于監(jiān)視探針臂的溫度
冷卻探針支架	＜20 K(樣品在基礎(chǔ)溫度下)
探針支架	連接磁體防輻射屏熱沉
探針臂支架	連接防輻射屏熱沉
DC/RF探針	電絕緣>100GΩ用于低漏電流測(cè)量
微波探針	頻率范圍從DC到67GHz
光纖探針	可用于電光測(cè)量
落針?lè)秶?/span>	所有探針均可在直徑為 25.4 毫米（1 英寸）的圓內(nèi)落針