多功能高磁控濺射噴金儀—nanoEM

產(chǎn)品簡介

多功能高磁控濺射噴金儀—nanoEM是Moorfield Nanotechnology推出的款高精度的磁控濺射噴金儀。

產(chǎn)品型號：nanoEM

更新時間：2024-04-18

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

訪問量：2368

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

材料制備/樣品合成

單晶爐薄膜、顆粒、膠體等制備爐子（燒結(jié)爐、電弧爐等）納米直寫、光刻設(shè)備

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多功能高磁控濺射噴金儀—nanoEM

nanoEM是Moorfield Nanotechnology推出的款高精度的磁控濺射噴金儀。該系統(tǒng)可配備SEM樣品托、TEM網(wǎng)、普通樣品等多種樣品臺，滿足各種高精度的噴金或電生長需求。除了濺射金屬電外，nanoEM還具有大的拓展空間，雖然作為臺式設(shè)備，nanoEM配備了輸出功率可達300W的濺射源，系統(tǒng)還可選擇樣品臺旋轉(zhuǎn)、樣品傾斜、自動壓強控制等多種功能。豐富的選件和配置可以滿足學(xué)術(shù)研究的多種樣品生長需求，可升成為臺多功能的磁控濺射薄膜制備系統(tǒng)。該設(shè)備作為靈活的高精度金屬濺射儀備受各大實驗室的青睞。

主要點：

◎ 能夠達到學(xué)術(shù)研究的多功能噴金儀

◎ SEM托、TEM網(wǎng)、普通樣品多種樣品臺可選

◎ 可安裝兩個2英寸濺射源

◎ 通用的濺射靶材

◎ 本底真空<5×10^-7 mbar

◎ 流量計精確控制生長氣氛

◎ 可調(diào)式DC濺射源，輸出功率可達300W

◎ 全自動，引導(dǎo)式觸屏控制

◎ 完備的安全性設(shè)計

◎ 易于維護

◎ 兼容超凈室